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靜電對(duì)電子裝備組裝的危害及有效消除方法

作者:CEO 時(shí)間:2022-08-02

信息摘要:一,靜電危害可分為兩類:一是由靜電引力引起的浮游塵埃的吸附;二是由靜電放電引起的介質(zhì)擊穿。1.靜電吸附在半導(dǎo)體元器件的生產(chǎn)制造過(guò)程中,由于大量使用了石英及高分子物質(zhì)制成的器具和材料,其絕緣度很高,在使用過(guò)程中一些不可避免的摩擦可造成其表面電荷不斷積聚

靜電對(duì)電子裝備組裝的危害及有效消除方法

靜電對(duì)電子裝備組裝的危害及有效消除方法

一,靜電危害可分為兩類:一是由靜電引力引起的浮游塵埃的吸附;二是由靜電放電引起的介質(zhì)擊穿。


1. 靜電吸附

在半導(dǎo)體元器件的生產(chǎn)制造過(guò)程中,由于大量使用了石英及高分子物質(zhì)制成的器具和材料,其絕緣度很高,在使用過(guò)程中一些不可避免的摩擦可造成其表面電荷不斷積聚, 且電位愈來(lái)愈高。由于靜電的力學(xué)效應(yīng),在這種情況下,很容易使工作場(chǎng)所的浮游塵埃吸附于芯片表面,而很小的塵埃吸附都有可能影響半導(dǎo)體器件的良好性能。

2.靜電放電與介質(zhì)擊穿

靜電放電的起放電源是空間電荷,因而它所儲(chǔ)存的能量是有限的,故它僅能提供短暫發(fā)生的局部擊穿能量。雖然靜電放電的能量較小, 但其放電波形很復(fù)雜,控制起來(lái)也比較麻煩。半導(dǎo)體器件的軟擊穿就與它有關(guān)。

由靜電引起元器件的擊穿是電子裝備中靜電危害的主要方式,是電子裝備制造中最普遍、最嚴(yán)重的危害。

人體自身也會(huì)產(chǎn)生靜電,人體靜電放電既可能造成人體遭電擊而降低工作效率,又可能引發(fā)二次事故(即器件損壞),因此,應(yīng)引起足夠重視。

人體帶電放電時(shí),人體會(huì)有不同程度的反映,這種反映稱為電擊感度。當(dāng)人體受到靜電電擊時(shí),雖不會(huì)發(fā)生重大生理障礙,但可能影響人的工作效率,或造成精神緊張和二次破壞等。

二、應(yīng)該引起注意的電子裝備防靜電

由于電子裝備的迅速發(fā)展,體積小、集成度高的器件得到大規(guī)模生產(chǎn),從而導(dǎo)致導(dǎo)線間距越來(lái)越小,絕緣膜越來(lái)越薄,致使耐擊穿電壓也愈來(lái)愈低。而電子裝備在生產(chǎn)、運(yùn)輸、儲(chǔ)存和轉(zhuǎn)運(yùn)等過(guò)程中所產(chǎn)生的靜電電壓卻遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)其擊穿電壓閾值,這就可能造成器件的擊穿或失效,影響裝備的技術(shù)指標(biāo),降低其可靠性。

防止靜電主要是抑制靜電的產(chǎn)生,加速靜電的泄漏,進(jìn)行靜電中和等。人穿非導(dǎo)電鞋時(shí),由于行走等活動(dòng)會(huì)產(chǎn)生、積蓄電荷,并可達(dá)到千伏級(jí)的電位。兩個(gè)不同的物體相互接觸時(shí),在其界面上產(chǎn)生電荷移動(dòng),正、負(fù)電荷相對(duì)排列形成雙電層。若將物體分離,會(huì)在兩個(gè)物體上各自產(chǎn)生極性不同的等量電荷。

防止這種靜電的原則是:對(duì)產(chǎn)生靜電的主要因素(物體的特性、表面狀態(tài)、帶電歷史、接觸面積和壓力、分離速度等)盡量予以排除;使相互接觸的物體在帶電序列中所處的位置盡量接近;使物體間的接觸面積和壓力要小,溫度要低,接觸次數(shù)要少,分離速度要小,接觸狀態(tài)不要急劇變化等。粉體、液體、氣體在運(yùn)輸過(guò)程中由于摩擦?xí)a(chǎn)生靜電,因此,要采取限制流速、減少管道的彎曲,增大直徑、避免振動(dòng)等措施。

靜電防護(hù)除降低速度、壓力、減少摩擦及接觸頻率,選用適當(dāng)材料及形狀,增大電導(dǎo)率等抑制措施外,還可采取下列措施:①接地。②搭接(或跨接).③屏蔽。④對(duì)幾乎不能泄漏靜電的絕緣體用抗靜電劑以增大電導(dǎo)率,使靜電易于泄漏。⑤采用噴霧、灑水等方法提高環(huán)境濕度,抑制靜電的產(chǎn)生。⑥使用靜電消除器,進(jìn)行靜電中和。這是消除靜電最有效的方法。

三、電子裝備生產(chǎn)過(guò)程中消除靜電的途徑

防靜電主要是防止靜電放電??刂旗o電放電要從控制靜電的產(chǎn)生和控制靜電的消除兩方面入手??刂旗o電的產(chǎn)生主要是控制工藝過(guò)程和工藝過(guò)程中材料的選擇;控制靜電的消除主要是加速靜電的泄露和中和。這兩點(diǎn)共同作用才能使靜電電壓不超過(guò)安全閾值,以達(dá)到靜電防護(hù)的目的。

靜電能對(duì)靜電敏感器件造成危害,但它是可控的,可消除的。

1.靜電的消除:

① 對(duì)有可能產(chǎn)生靜電的地方要防止靜電荷的聚集。即采取一定的措施避免或減少靜電放電的產(chǎn)生??刹捎眠叜a(chǎn)生邊泄露的辦法達(dá)到消除電荷聚集的目的。

②對(duì)已存在的電荷積聚,應(yīng)迅速地消除掉。當(dāng)絕緣物體帶電時(shí),電荷不能流動(dòng),無(wú)法進(jìn)行泄漏,可利用靜電消除器產(chǎn)生異性離子來(lái)中和靜電荷。當(dāng)帶電的物體是導(dǎo)體時(shí),則采用簡(jiǎn)單的接地泄露辦法,使其所帶電荷完全消除。

你可以在工作區(qū)域內(nèi)安裝有效的靜電臺(tái)墊、靜電消除器:超聲波加濕機(jī),離子風(fēng)機(jī),離子風(fēng)棒,離子風(fēng)嘴,離子風(fēng)鼓,消除靜電設(shè)備手動(dòng)靜電除塵槍(離子風(fēng)槍),自動(dòng)除靜電離子風(fēng)嘴,離子風(fēng)棒,離子銅棒,離子風(fēng)銅棒,感應(yīng)式靜電消除棒,高壓發(fā)生器。

2.靜電的控制:靜電的控制技術(shù)是在靜電電荷積聚不可避免的情況下,采取綜合措施將靜電危害控制在允許的范圍內(nèi)。

①工藝控制法 目的是在生產(chǎn)過(guò)程中盡量少地產(chǎn)生靜電荷。對(duì)工藝流程中材料的選擇、裝備安裝和操作管理等過(guò)程應(yīng)采取預(yù)防措施,控制靜電的產(chǎn)生和電荷的聚集,抑制靜電電位和放電能量,使危害降到最小程度。

② 泄露法 目的是使靜電荷通過(guò)泄露達(dá)到消除。一般采用靜電接地使電荷向大地泄露,通常利用增大物體電導(dǎo)的方法使靜電泄露。

③靜電屏蔽法 采用接地的屏蔽罩把帶電體與其它物體隔離開(kāi),這樣帶電體的電場(chǎng)將不影響周圍其它物體,這種屏蔽方法叫內(nèi)場(chǎng)屏蔽。有時(shí)也用接地的屏蔽罩把被隔離物體包圍起來(lái)使被隔離物免受外界電場(chǎng)的影響,這種屏蔽方法叫外場(chǎng)屏蔽。

④復(fù)合中和法及其它 通過(guò)復(fù)合中和法來(lái)達(dá)到靜電荷的消除。通常用靜電消除器:離子風(fēng)槍,離子風(fēng)機(jī),離子風(fēng)棒,離子風(fēng)嘴,離子風(fēng)鼓,所產(chǎn)生的正負(fù)離子來(lái)中和帶電體的電荷,并有可能使帶電物體表面光滑以及周圍環(huán)境更加清潔,從而減少尖端放電的可能性。

靜電消除器相關(guān)產(chǎn)品:超聲波加濕器


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