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如何處理沸石轉輪中的VOCs廢氣殘留

作者:CEO 時間:2023-03-22

信息摘要:沸石轉輪中VOCs殘留的處理方法,目前對VOCs的末端處理方法包括冷凝、吸附、氧化、生物處理、吸收、等離子體凈化等。我國防治VOCs的要求和力度逐步加強,沸石旋轉吸附濃縮法處理低濃度廢氣成為許多企業(yè)的首選處理方案。在使用過

如何處理沸石轉輪中的VOCs廢氣殘留

如何處理沸石轉輪中的VOCs廢氣殘留

  沸石轉輪中VOCs殘留的處理方法,目前對VOCs的末端處理方法包括冷凝、吸附、氧化、生物處理、吸收、等離子體凈化等。我國防治VOCs的要求和力度逐步加強,沸石旋轉吸附濃縮法處理低濃度廢氣成為許多企業(yè)的首選處理方案。在使用過程中,揮發(fā)性有機化合物殘留在轉輪中,會導致沸石轉輪劣化,降低處理效率。如何避免和處理這樣的情況?為了減少沸石轉輪設備中揮發(fā)性有機化合物的殘留,應改善揮發(fā)性有機化合物廢氣的入口質量,提高脫附效率。

  廢氣預處理措施通常包括除塵、除濕、除霧、除高沸物等。根據(jù)待處理VOCs廢氣的實際情況,選擇合適的廢氣預處理措施。比如半導體的制造工藝對生產(chǎn)現(xiàn)場的顆粒物有嚴格的要求,一般都是清潔車間。因此,有機廢氣中顆粒物的含量很小,通常不需要除塵預處理。

  1.廢氣預處理

  芯片制造生產(chǎn)過程中使用的主要有機原料通常具有低沸點和揮發(fā)性的特點,但仍不排除少量高沸點物質,如汽提液的主要成分二甘醇胺(沸程218~224℃)。在高沸點物質的處理過程中,可以增加冷凝、前期活性炭吸附等預處理裝置,避免VOCs廢氣中難以脫附的高沸點物質進入沸石轉輪。高沸點的VOCs進入廢氣管道后容易冷凝,從而增加廢氣的濕度。

  2.用高壓空氣吹掃

  在停機、檢查和維護期間,用高壓空氣吹掃沸石轉輪。但高壓空氣吹掃只能去除附著在沸石轉輪表面的灰塵,而VOCs有機物通常吸附在分子篩孔隙中,無法有效去除,需要配合上述其他處理方法進行選擇。

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